環(huán)境條件控制，溫度維持20±5℃，環(huán)境濕度低于75%RH，設(shè)備放置區(qū)域無震動、無電磁干擾；液體顆粒計數(shù)器在萬級潔凈環(huán)境操作，塵埃粒子計數(shù)器在百級潔凈艙內(nèi)完成校準(zhǔn)。

 

儀器預(yù)處理，清潔內(nèi)部光學(xué)檢測腔、采樣管路、進(jìn)樣口，清除殘留顆粒與雜質(zhì)；開機(jī)預(yù)熱半小時以上，執(zhí)行設(shè)備自凈程序，穩(wěn)定光路和氣液路系統(tǒng)，檢查管路無漏氣、漏液，泵體運(yùn)行平穩(wěn)無脈動。

 

配套標(biāo)準(zhǔn)器具準(zhǔn)備，空氣型配備標(biāo)準(zhǔn)流量計、單分散PSL粒子發(fā)生器、一級基準(zhǔn)參比計數(shù)器、零級HEPA過濾器；液體型使用有證PSL標(biāo)準(zhǔn)顆粒懸浮液、超聲分散儀、高精度定量流量計，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)量值具備計量溯源性。

 

二、零點本底校準(zhǔn)

 

用于排查儀器無顆粒時產(chǎn)生的虛假計數(shù)，是精度基礎(chǔ)項。

 

塵埃粒子計數(shù)器：進(jìn)氣口對接零級高效過濾器，按標(biāo)準(zhǔn)體積連續(xù)采樣5次，最小粒徑通道本底計數(shù)符合設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)，假計數(shù)超標(biāo)則清洗光學(xué)窗口并重置零點。

 

液體顆粒計數(shù)器：通入超純空白溶劑，連續(xù)測試10組數(shù)據(jù)，各通道計數(shù)趨近于零，空白計數(shù)偏高說明傳感腔污染，需深度清洗管路腔體。

 

三、采樣流量校準(zhǔn)

 

計數(shù)濃度由顆粒總數(shù)與采樣體積計算，流量偏差直接影響精度。

 

將標(biāo)準(zhǔn)流量計串聯(lián)儀器采樣入口，穩(wěn)定運(yùn)行五分鐘后對比儀器顯示流量與標(biāo)準(zhǔn)流量計實測數(shù)值，流量允許誤差±5%，偏差超標(biāo)調(diào)整泵速或流量閥并鎖定參數(shù)；液體機(jī)型同步校準(zhǔn)定量進(jìn)樣體積，體積誤差控制在±3%以內(nèi)。

 

四、計數(shù)效率與示值誤差校準(zhǔn)

 

比對校準(zhǔn)法

 

將待測設(shè)備與一級基準(zhǔn)計數(shù)器并聯(lián)，同步通入同一穩(wěn)定標(biāo)準(zhǔn)粒子氣溶膠或懸浮液，選取設(shè)備常用特征粒徑測試，連續(xù)采集十組數(shù)據(jù)取平均值，計數(shù)效率=待測儀器平均計數(shù)÷基準(zhǔn)儀器平均計數(shù)×100%，空氣設(shè)備0.3μm通道計數(shù)效率50%~100%合格，液體設(shè)備整體誤差不超過±10%。

 

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)稀釋校準(zhǔn)法

 

取用標(biāo)定濃度的標(biāo)準(zhǔn)顆粒懸浮液，梯度稀釋低、中、高三個濃度區(qū)間，超聲分散避免顆粒團(tuán)聚，依次進(jìn)樣測試，每組濃度重復(fù)測試六次，計算濃度示值誤差，線性區(qū)間示值誤差≤±10%，標(biāo)準(zhǔn)曲線相關(guān)系數(shù)R²≥0.99。

 

五、重合損失校準(zhǔn)

 

高濃度下多顆粒同時進(jìn)入檢測區(qū)域會造成計數(shù)偏低，需標(biāo)定補(bǔ)償曲線。

 

逐步提升標(biāo)準(zhǔn)顆粒濃度，記錄不同濃度對應(yīng)的計數(shù)效率變化，確定無重合計數(shù)的濃度上限，保存重合損失修正參數(shù)，實際檢測高濃度樣品時啟用軟件自動補(bǔ)償，或?qū)悠废♂尯髲?fù)測。

 

六、重復(fù)性校準(zhǔn)

 

固定單一標(biāo)準(zhǔn)濃度連續(xù)測試十次，計算計數(shù)結(jié)果相對標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD，合格標(biāo)準(zhǔn)RSD≤5%；數(shù)據(jù)波動偏大代表光路不穩(wěn)定、泵體脈動或管路存在氣泡，需重新清潔管路、檢修泵體。

 

七、粒徑閾值校準(zhǔn)

 

粒徑電壓閾值偏移會導(dǎo)致顆粒跨通道錯計，取單分散標(biāo)準(zhǔn)粒子通入儀器，調(diào)整脈沖電壓閾值，保證95%以上顆粒落入對應(yīng)粒徑通道，多粒徑點位驗證粒徑誤差不超過±10%，保存校準(zhǔn)閾值曲線。

 

八、校準(zhǔn)收尾與周期管理

 

中等濃度標(biāo)準(zhǔn)樣品復(fù)測三次，全部指標(biāo)達(dá)標(biāo)后完成校準(zhǔn)，完整記錄溫濕度、流量、計數(shù)效率、示值誤差、重復(fù)性、重合濃度上限等數(shù)據(jù)，留存校準(zhǔn)記錄。

 

計量法定校準(zhǔn)周期為一年，高粉塵、高粘度樣品頻繁使用工況每半年開展內(nèi)部自校；更換光學(xué)傳感器、設(shè)備大修、數(shù)據(jù)長期漂移時，立即開展全套校準(zhǔn)。

 

液體與空氣顆粒計數(shù)器校準(zhǔn)區(qū)分要點

 

光阻法液體顆粒計數(shù)器：核心采用PSL懸浮標(biāo)準(zhǔn)液，必須超聲分散防止顆粒團(tuán)聚，重點校驗進(jìn)樣體積精度與高濃度重合誤差。

 

塵埃粒子計數(shù)器：采用氣溶膠粒子發(fā)生器，重點校驗0.3μm微小粒徑計數(shù)效率與零級本底。